防擊穿核心技術(shù)：??

電極結(jié)構(gòu)：  
  - 類型： 分形梳狀電極（比傳統(tǒng)網(wǎng)格擊穿電壓↑30%）  
  - 厚度： 10-15μm鉬層（熔點2620℃）  
  - 埋深： 距表面0.3mm（96% Al?O?耐壓＞20kV/mm）  

?梯度介質(zhì)層設(shè)計（專利方案）：??

層序	材料	厚度(μm)	功能
1	99.5% Al?O?	50	表面絕緣（Ra＜0.05μm）
2	Al?O?+20% Si?N?	100	熱膨脹過渡層
3	電極層	15	鉬/鎢金屬化
4	99% Al?O?	300	基體支撐

?關(guān)鍵參數(shù)驗證：??

• 耐壓測試：DC 25kV（1min無閃絡(luò)）
• 熱循環(huán)（-60℃↔200℃）：＞5000次無分層
• 吸力均勻性：±3%（@8kV，300mm晶圓）

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